怎樣才能確保電子廠房凈化潔凈度等級
來源:本站時間:2025/10/10 10:33:15
電子廠房凈化工程是確保電子產品生產質量和性能的關鍵環(huán)節(jié),以下將從設計、施工、設備選型、驗收及運維等方面進行詳細介紹:
- 潔凈度等級確定:根據(jù)生產的電子產品類型和工藝要求來確定潔凈度等級。如半導體芯片制造車間通常要求 ISO 5 級(百級)以上,甚至達到 ISO 3 級(Class 1),而普通電子元器件生產車間可采用 ISO 7 級(萬級)12。
- 氣流組織設計:采用計算流體力學(CFD)模擬氣流走向,避免出現(xiàn)渦流區(qū)。對于要求較高的車間,如采用垂直單向流,天花板 FFU 覆蓋率應達 80% 以上,風速控制在 0.45±0.1m/s24。
- 溫濕度控制設計:電子廠房凈化工程中,溫度波動范圍一般控制在 ±0.5℃,濕度控制在 45%-60% RH,以避免靜電產生及對電子產品的性能造成影響1。
- 空間布局規(guī)劃:考慮生產流程和工藝要求,合理規(guī)劃各個功能區(qū)域的位置,常見的 “回” 字形或 “田” 字形布局,能將污染風險較高的原材料入口與成品出口有效隔離。同時,要預留 20%-30% 的技術夾層高度,用于布置風管、工藝管道和電纜橋架4。